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发明名称 NORMAL PRESSURE CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6281018(A) 申请公布日期 1987.04.14
申请号 JP19850220012 申请日期 1985.10.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 HOSHINO MASAKAZU;KOBAYASHI JUNICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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