| 发明名称 |
ENTRANCE AND EXIT STRUCTURE FOR THERMOSTATIC CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6280571(A) |
申请公布日期 |
1987.04.14 |
| 申请号 |
JP19850220394 |
申请日期 |
1985.10.04 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD |
发明人 |
SOFUE MASAAKI;OKITSU HIKARI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/30;H05K13/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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