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发明名称
SAMPLE PAD FOR ION MILLING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6280951(A)
申请公布日期
1987.04.14
申请号
JP19850217886
申请日期
1985.10.02
申请人
HITACHI LTD;HITACHI NAKASEIKI LTD
发明人
ISHIIZUMI YUTAKA
分类号
H01J37/20;G01N1/32;H01J37/30
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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