| 发明名称 |
THIN PLATE DEFORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6279647(A) |
申请公布日期 |
1987.04.13 |
| 申请号 |
JP19850219047 |
申请日期 |
1985.10.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUNATSU RYUICHI;TANIGUCHI MOTOYA;KUJI TOMOHIRO;KENBO YUKIO;INAGAKI AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/683;B23Q3/08;B23Q5/28;B23Q5/52;G01B7/00;G01B7/16;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/67;H01L41/09 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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