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发明名称
X-RAY LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
JPS6279623(A)
申请公布日期
1987.04.13
申请号
JP19850219433
申请日期
1985.10.02
申请人
FUJITSU LTD
发明人
HAIRI ISAMU
分类号
H01L21/027;G03F7/20;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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