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发明名称 DISCHARGE ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPS6277460(A) 申请公布日期 1987.04.09
申请号 JP19850214758 申请日期 1985.09.30
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 ITO YOSHINORI
分类号 C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
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