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发明名称 FORMATION OF CUBIC BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS6277454(A) 申请公布日期 1987.04.09
申请号 JP19850215186 申请日期 1985.09.30
申请人 ULVAC CORP 发明人 WATANABE KAZUHIRO;SAITO KAZUYA;TANAKA ICHIRO;INAGAWA KONOSUKE;ITO AKIO
分类号 C23C14/06;C23C14/32 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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