发明名称 FORMATION OF THIN FILM BY PLASMA CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPS6277479(A) 申请公布日期 1987.04.09
申请号 JP19850218755 申请日期 1985.09.30
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KASHIMA YOSHIO
分类号 C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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