Composite material and method of manufacturing it.

摘要

Insbesondere zur Verbesserung der Anpassung des Wärmeausdehnungskoeffizienten von Substratmaterial für Leistungshalbleiter an das Wärmeausdehnungsverhalten von Silizium weist ein Verbundwerkstoff aus metallischen und nichtmetallischen Komponenten zwischen 20 und 80 Volumenprozent Kupfer und/oder Molybdän und als Rest mindestens eine nichtmetallische Komponente auf. Als nichtmetallische Komponente haben sich Borosilikatglas, alkalifreies Hartglas, Quarzglas undβ-Eukryptit als besonders geeignet erwiesen. Die Herstellung des Verbundwerkstoffs kann vorteilhaft auf pulvermetallurgischem Wege erfolgen. Eine Nachverformung der gesinterten Preßkörper vorzugsweise mittels Strangpressen führt zu einem anisotropen Ausdehnungsverhalten und zu einer Anisotropie der elektrischen und thermischen Leitfähigkeit des Verbundwerkstoffs.