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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6276720(A) 申请公布日期 1987.04.08
申请号 JP19850217030 申请日期 1985.09.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MITANI MASATO;KARATSU KAZUHIRO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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