发明名称 PROCESSO PER FORMARE UNA PELLICOLA EPITASSIALE NELLA FASE LIQUIDA SU UN WAFER
摘要
申请公布号 IT1163695(B) 申请公布日期 1987.04.08
申请号 IT19790025048 申请日期 1979.08.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人
分类号 C30B19/06;C30B19/10;H01F41/28;H01L21/208;(IPC1-7):H01F/ 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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