发明名称 |
PROCESSO PER FORMARE UNA PELLICOLA EPITASSIALE NELLA FASE LIQUIDA SU UN WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
IT1163695(B) |
申请公布日期 |
1987.04.08 |
申请号 |
IT19790025048 |
申请日期 |
1979.08.10 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
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分类号 |
C30B19/06;C30B19/10;H01F41/28;H01L21/208;(IPC1-7):H01F/ |
主分类号 |
C30B19/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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