| 发明名称 |
THERMAL CONDUCTOR FOR IONIC PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6276146(A) |
申请公布日期 |
1987.04.08 |
| 申请号 |
JP19850215643 |
申请日期 |
1985.09.27 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KATO YOSHINAO;KAMIJO EIJI |
| 分类号 |
H01J37/20;C23C14/34;C23F1/00;C23F4/00;H01J37/317;H01L21/203;H01L21/265;H01L21/302 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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