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经营范围
发明名称
SILICON WAFER
摘要
申请公布号
JPS6276714(A)
申请公布日期
1987.04.08
申请号
JP19850217204
申请日期
1985.09.30
申请人
MITSUBISHI METAL CORP
发明人
SUGA HISAAKI
分类号
H01L21/322;H01L21/18
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
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