发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH SELF-INSPECTING CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6276756(A) 申请公布日期 1987.04.08
申请号 JP19850217130 申请日期 1985.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKAMOTO MITSUMASA
分类号 H01L21/822;G01R31/28;H01L21/66;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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