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发明名称 PHOTOEXCITATION ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6276631(A) 申请公布日期 1987.04.08
申请号 JP19850216487 申请日期 1985.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HAYASAKA NOBUO;OKANO HARUO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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