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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6276627(A) 申请公布日期 1987.04.08
申请号 JP19850216488 申请日期 1985.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SEKINE MAKOTO;OKANO HARUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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