| 发明名称 |
APPARATUS FOR CARRYING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6276532(A) |
申请公布日期 |
1987.04.08 |
| 申请号 |
JP19850215708 |
申请日期 |
1985.09.27 |
| 申请人 |
KURETSUKU SYST:KK |
发明人 |
HIDEHIRA TSUYOSHI;SATO MASAAKI;SENDA RYOHEI;OOYAMA KATSUYUKI;SATO KATSUSHI |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J15/08;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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