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发明名称
ELECTRON BEAM LENGTH MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号
JPS6275206(A)
申请公布日期
1987.04.07
申请号
JP19850214715
申请日期
1985.09.30
申请人
HITACHI LTD
发明人
MURAKOSHI HISAYA;ICHIHASHI MIKIO;YAMAMOTO KENICHI
分类号
G01B15/00;H01J37/28
主分类号
G01B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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