INTEGRATED CIRCUIT TESTER,申请号JP19850216846-传众专利搜索

发明名称	INTEGRATED CIRCUIT TESTER
摘要
申请公布号	JPS6275357(A)	申请公布日期	1987.04.07
申请号	JP19850216846	申请日期	1985.09.30
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	ISHIKAWA MITSUAKI
分类号	H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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