发明名称 IC MODULE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6273734(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850212534 申请日期 1985.09.27
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD;TAIYO KEISOKU KK 发明人 MURAKAMI SEIICHI;MATSUHASHI NOBORU;MAMIZU SADANOBU;AKIYAMA HIDEO
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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