发明名称 MANUFACTURING PASSAGE IN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6273745(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19860221753 申请日期 1986.09.19
申请人 STC PLC 发明人 ROJIYAA RESURII BEIKAA;SUTEFUAN ROBAATO JIENINGUSU;SACHIYARIA ARUBIN
分类号 H01L21/31;H01L21/311;H01L21/768;H01L23/522;H05K3/00;H05K3/46 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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