| 发明名称 |
MANUFACTURE OF AMORPHOUS SILICON THIN-FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6273678(A) |
申请公布日期 |
1987.04.04 |
| 申请号 |
JP19850213412 |
申请日期 |
1985.09.26 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAKINUMA HIROAKI;FUKUDA HISASHI;NISHIKAWA SATORU |
| 分类号 |
H01L27/146;H01L27/14;H01L31/0248;H01L31/08 |
主分类号 |
H01L27/146 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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