发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6273645(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850213028 申请日期 1985.09.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAKAGAMI KIYOSHI;NAKAO SHUJI;OGAWA TOSHIAKI;ITO HIROMI
分类号 H01L21/768;H01L21/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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