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发明名称 RESIST COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6273715(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850213817 申请日期 1985.09.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ASAYAMA KUNIO
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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