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经营范围
发明名称
DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6273719(A)
申请公布日期
1987.04.04
申请号
JP19850212404
申请日期
1985.09.27
申请人
HITACHI LTD
发明人
OTSUBO TORU;TOKUDA MITSUO;AIUCHI SUSUMU
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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