发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6273719(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850212404 申请日期 1985.09.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTSUBO TORU;TOKUDA MITSUO;AIUCHI SUSUMU
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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