PROCESSING EQUIPMENT FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR,申请号JP19850212923-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PROCESSING EQUIPMENT FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	JPS6273626(A)	申请公布日期	1987.04.04
申请号	JP19850212923	申请日期	1985.09.26
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	KOTANI JUTARO;OGATA SHUNJI
分类号	H01L21/324;H01L21/265	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
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