发明名称 INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURING THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6273757(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850213792 申请日期 1985.09.27
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 ODAJIMA MINORU;YAMAGATA MICHIAKI;ANDO YUKIKIYO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L27/01 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址