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发明名称 PHOTOCHEMICAL REACTOR
摘要
申请公布号 JPS6273623(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850213027 申请日期 1985.09.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO HIROMI;OZAKI KOJI;EMORI TAKAHISA;OOGA HIROTOMO
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/302;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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