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发明名称 DETECTING METHOD FOR END POINT OF FLATTENING STEP BY ETCHING BACK METHOD
摘要
申请公布号 JPS6273723(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850214155 申请日期 1985.09.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 HORI MINORU;HOSHINO TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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