| 发明名称 |
SILICON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE MATERIAL AND MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6272595(A) |
申请公布日期 |
1987.04.03 |
| 申请号 |
JP19860215592 |
申请日期 |
1986.09.12 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
GUREIDON BEIYAADO RARABII |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B11/00;C30B15/00;C30B15/04;H01L21/18;H01L21/208;H01L29/167 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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