| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6272598(A) |
申请公布日期 |
1987.04.03 |
| 申请号 |
JP19850215911 |
申请日期 |
1985.09.26 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
FURUKAWA MASAKI;SUZUKI AKIRA;SHIGETA MITSUHIRO;UEMOTO ATSUKO |
| 分类号 |
C30B25/18;C30B29/36;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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