| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG OHMSCHER KONTAKTE ZWISCHEN METALLEN UND HALBLEITERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3633472(A1) |
申请公布日期 |
1987.04.02 |
| 申请号 |
DE19863633472 |
申请日期 |
1986.10.01 |
| 申请人 |
SGS MICROELETTRONICA S.P.A. |
发明人 |
IANNUZZI,GIULO |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/308;C23C14/34;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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