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发明名称 WAFER HANDLING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6272136(A) 申请公布日期 1987.04.02
申请号 JP19850211643 申请日期 1985.09.25
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 OMI TADAHIRO;KUMAGAI HIROMI
分类号 H01L21/683;B23Q3/15;B25J15/06;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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