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经营范围
发明名称
METHOD OF MAKING ALLOYED METAL CONTACT LAYERS ON INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号
EP0076570(B1)
申请公布日期
1987.04.01
申请号
EP19820304637
申请日期
1982.09.03
申请人
ITT INDUSTRIES INC.;DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH
发明人
HEINECKE, RUDOLF AUGUST HERBERT
分类号
H01L21/3205;C23C14/48;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3215;H01L23/52;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/265
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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