GLOW DISCHARGE METHOD OF APPLYING A CARBON COATING ONTO A SUBSTRATE AND COATING APPLIED THEREBY,申请号EP19850111221-传众专利搜索

发明名称	GLOW DISCHARGE METHOD OF APPLYING A CARBON COATING ONTO A SUBSTRATE AND COATING APPLIED THEREBY
摘要
申请公布号	EP0175980(A3)	申请公布日期	1987.04.01
申请号	EP19850111221	申请日期	1985.09.05
申请人	ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.	发明人	OVSHINSKY, STANFORD R.;FLASCK, JAMES
分类号	C23C16/26;C23C16/27;C23C16/32;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/26	主分类号	C23C16/26
代理机构		代理人
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