发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6270573(A) 申请公布日期 1987.04.01
申请号 JP19850210841 申请日期 1985.09.23
申请人 NIPPON SOKEN INC 发明人 MITSUI TAKAO;SUGIMURA HIROSHI;HOUCHIYOU SHINJI;UENO YOSHIKI;TAGUCHI TAKASHI
分类号 C03C17/245;C23C14/54;G02B1/10 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
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