ELECTRON SUPPRESSION DEVICE FOR SPACE CHARGE NEUTRALIZATION,申请号JP19850210082-传众专利搜索

发明名称	ELECTRON SUPPRESSION DEVICE FOR SPACE CHARGE NEUTRALIZATION
摘要
申请公布号	JPS6271154(A)	申请公布日期	1987.04.01
申请号	JP19850210082	申请日期	1985.09.25
申请人	ULVAC CORP	发明人	TSUKAGOSHI OSAMU
分类号	H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265	主分类号	H01J37/04
代理机构		代理人
主权项
地址