发明名称 TURBOMOLECULAR PUMPS
摘要
申请公布号 GB2146073(B) 申请公布日期 1987.04.01
申请号 GB19840019569 申请日期 1984.08.01
申请人 * SEIKO SEIKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TADAO * ISHIZAWA
分类号 F04D19/04;F04D29/40;(IPC1-7):F04D29/52 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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