发明名称 Method for producing a control transistor for a flat viewing screen, and control element manufactured thereby.
摘要 Procédé de fabrication d'un transistor de commande pour écran plat de visualisation selon lequel on prévoit les étapes suivantes : - dépôt sur un substrat (1) d'un matériau conducteur tel que de l'ITO (2) ; - découpe dans le matériau conducteur 2 d'électrodes ; - dépôts successifs de couches métallique puis semiconductrice amorphe dopée n ; - découpe d'une colonne (32, 42) et d'un élément de connexion (31, 41) en contact avec l'électrode ; - dépôts successifs de couches d'un matériau semiconducteur amorphe non dopé (5), puis d'un matériau isolant (6) puis d'un matériau métallique (7) ; - découpe dans les trois couches (5, 6, 7) qui viennent d'être déposées d'une ligne chevauchant la colonne et l'élément de connexion. L'invention concerne également le transistor de commande ainsi obtenu et est applicable notamment dans les écrans plats d'affichage à cristaux liquides.
申请公布号 EP0216673(A1) 申请公布日期 1987.04.01
申请号 EP19860401863 申请日期 1986.08.22
申请人 THOMSON-CSF 发明人 BOULITROP, FRANCOIS;CHARTIER, ERIC;MOUREY, BRUNO;LE BERRE, SERGE
分类号 H01L29/78;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/8247;H01L21/84;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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