发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6271217(A) 申请公布日期 1987.04.01
申请号 JP19850211530 申请日期 1985.09.24
申请人 NEC CORP 发明人 TATSUMI TORU;AIZAKI HISAAKI
分类号 H01L21/203;H01L21/26 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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