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发明名称 Full chip integrated circuit tester.
摘要
申请公布号 EP0216077(A1) 申请公布日期 1987.04.01
申请号 EP19860110460 申请日期 1986.07.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BEHA, JOHANNES GEORGE;KASH, JEFFREY ALAN;DREYFUS, RUSSELL WARREN;RUBLOFF, GARY WAYNE
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/265;G01R31/302;G01R31/308 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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