发明名称 PROJECTION INSPECTING INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPS6270824(A) 申请公布日期 1987.04.01
申请号 JP19850210648 申请日期 1985.09.24
申请人 NIPPON KOGAKU KK <NIKON> 发明人 HIROSE HIDEO
分类号 G02B21/36;G01B9/08;G01B11/24;G02B27/18;G03B21/10 主分类号 G02B21/36
代理机构 代理人
主权项
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