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发明名称 SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6270568(A) 申请公布日期 1987.04.01
申请号 JP19850210016 申请日期 1985.09.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TECHNO ENG CO LTD 发明人 KIKKAI MOTOHIKO;OGAWA YOSHIFUMI;YAMADA HIROSHI
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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