| 发明名称 |
FORMATION OF FILM ON SUBSTRATE BY SPUTTERING ION PLATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6270570(A) |
申请公布日期 |
1987.04.01 |
| 申请号 |
JP19860154931 |
申请日期 |
1986.07.01 |
| 申请人 |
UK ATOMIC ENERGY AUTHORITY |
发明人 |
JIYOSEFU POORU KOODO;DEIBUITSUDO SUTATSUFUOODO RITSUKAABII;FUIRITSUPU WAARINGUTON |
| 分类号 |
C23C14/40;C22C19/05;C22C19/07;C22C38/00;C23C14/14;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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