发明名称 APPARATUS FOR PRODUCTING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6270286(A) 申请公布日期 1987.03.31
申请号 JP19850210582 申请日期 1985.09.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NONAKA SHIGEO
分类号 C30B15/00;C30B15/22;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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