| 发明名称 |
PRODUCTION OF N-TYPE SEMICONDUCTIVE DIAMOND FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6270295(A) |
申请公布日期 |
1987.03.31 |
| 申请号 |
JP19850211849 |
申请日期 |
1985.09.24 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
FUJIMORI NAOHARU;IMAI TAKAHIRO;DOI AKIRA |
| 分类号 |
C30B29/04;C30B25/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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