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发明名称 METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR ARRANGEMENTS
摘要
申请公布号 HU191628(B) 申请公布日期 1987.03.30
申请号 HU19830002849 申请日期 1983.08.12
申请人 VEB ZENTRUM FUER FORSCHUNG UND TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 ULLMANN,PETER,DD;MACHOLD,HANS-JOACHIM,DD
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/72 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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