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发明名称 CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6269510(A) 申请公布日期 1987.03.30
申请号 JP19850209588 申请日期 1985.09.21
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KAMEMURA AKIHIRO;HORI MINORU
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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