INSPECTOR FOR SQUARE CHIP ELECTRONIC DEVICE,申请号JP19850208257-传众专利搜索

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发明名称	INSPECTOR FOR SQUARE CHIP ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6267468(A)	申请公布日期	1987.03.27
申请号	JP19850208257	申请日期	1985.09.19
申请人	ROHM CO LTD	发明人	MATSUMOTO KUNIYO
分类号	H01L21/66;G01R27/00	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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