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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6267831(A) 申请公布日期 1987.03.27
申请号 JP19850208226 申请日期 1985.09.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 GOTO YOSHIAKI;ITO AKIO;OKUBO KAZUO;ISHIZUKA TOSHIHIRO;OZAKI KAZUYUKI
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/302;H01J37/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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